作为全球最大的半导体设备制造厂商，无论是台积电、三星这样的外国科技巨头，还是中芯国际、华虹国际等国内芯片厂商全部都离不开ASML所销售的光刻机。但是和外国巨头购买设备的畅通无阻不同，EUV光刻机这样的高端半导体设备并没有对国内芯片厂商出售。中芯国际早在2018年就向ASML订购了一台价值1.2亿美元的EUV光刻机并交付定金，但是这台本该于2019年交付的EUV光刻机直到4年后的今天依然没有交付，这也使得中芯国际迟迟无法突破至7nm制程。

最近美日荷芯片三方协议的公布则让人对光刻机设备供货安全更是捏上了一把汗，特别是在荷兰宣布将对半导体设备进行出口管制（The Dutch government has said it will impose export restrictions on the “most advanced” semiconductor technology）之后，很多人开始担心在EUV光刻机之后，DUV光刻机可能也将无法从ASML处购买。

但是没想到在荷兰方面刚刚做出决定后不久，ASML就在第一时间“唱反调”，表示对于管制出口的光刻机存在疑问，认为只有最先进（“most advanced”）的DUV光刻机才在管制名单中，也就是可用于7nm及5nm技术节点的DUV光刻机TWINSCAN NXT:2000i（双工件台深紫外光刻机）以及其后续型号的TWINSCAN NXT:2050i光刻机。

ASML认为TWINSCAN NXT:1980Di作为DUV光刻机的初级型号，不应该在断供范围之内。虽然TWINSCAN NXT:1980Di不是最顶尖的DUV光刻机，其一次分辨率也仅仅小于等于38nm。但是却可以通过多次曝光技术将分辨率提升至7nm，而国内绝大多数芯片厂商的制程都在28nm及以上的成熟制程，因此TWINSCAN NXT:1980Di就足以满足绝大多数国产芯片企业的需求。

为何在这样关键的时刻ASML却选择“反抗”？最为关键的因素还是利益。根据ASML的财报显示，自2014年以来其累计出售的光刻机价值超过了80亿欧元，按照DUV光刻机平均一台1000万的价格计算，ASML累计出售了超过800台光刻机，由此可见中国市场对于ASML的重要意义。

更令ASML难以割舍的则是中国芯片市场巨大的成长潜力，2022年国产芯片数量达到了3241.9亿块，在全球芯片市场萎靡不振的大环境下，取得这份成绩实属不易。而芯片制造能力的增长必然带来半导体设备需求的增加，这也是ASML选择将事情闹大也要保住TWINSCAN NXT:1980Di能够继续销售的原因。

ASML做此选择的另一个意义则是通过抢占市场来压制国产光刻机的发展。众所周知光刻机是一项高投资高收益的科技产业，如今以上海微电子为代表的国产光刻机厂商同样在进行高端光刻机的研制，同时也已经投入了大量的研发资金，此时正待通过量产光刻机来收回成本，并投入到下一代光刻机的研发上。

ASML选择继续出售TWINSCAN NXT:1980Di光刻机，实际上也成为了上海微电子等国产光刻机的直接竞争对手，通过技术上的领先以及量产化的优势，ASML光刻机的价格和性能毫无疑问都将领先于国产光刻机，也将对国产光刻机的研发和突破起到负面作用。

ASML的光刻机对于国内芯片产业来说也已经成为了一柄双刃剑。芯片产业的发展需要光刻机的支持，因此需要从ASML处购买足够的光刻机来支持国产芯片的发展；但同时ASML也仅能提供TWINSCAN NXT:1980Di这样的低端型号，TWINSCAN NXT:2000i和TWINSCAN NXT:2050i这样的高端型号以及更为先进EUV光刻机则无法取得，这实际上也限制了国产芯片向更为先进方向发展的脚步。

如何平衡好购买ASML光刻机和自主研发之间的关系也成为下一阶段不得不考虑的重点问题。