自从美日荷芯片协议公布之后,在半导体产业忧心忡忡思考对策之际,忽然却有一种“乐观”的思想开始蔓延,特别是近期不少媒体报道ASML将交付100台光刻机更是使得不少人开始相信这一次的芯片三方协议又是一次“恐吓”行动,不会对快速发展的国产芯片产业造成太大的影响,但事实真的如此吗?
很遗憾,对于芯片三方协议,ASML现任首席执行官彼得温宁克(Peter Wennink)的话就如同泼了一盆冷水,让人刹时清醒了过来:“三方芯片协议将扩大限制范围,不再局限于EUV光刻机等最先进的设备的同时也将包含其他设备”(We understand that steps have been taken that would cover advanced lithography tools as well as other types of equipment)。
这也就意味着不仅仅是用于7nm及以下制程的高端EUV光刻机无法购买,以往采购的100多台包括DUV光刻机在内的设备也面临断供的风险。一旦ASML采取这个行动,那么对于国内芯片企业而言毫无疑问将产生巨大的冲击。
ASML其实已经不是第一次做出这种选择了。早在2018年中芯国际就向ASML交付定金用于购买一台当时最先进的EUV光刻机,但是由于美方的阻挠使得这台光刻机在5年之后依然处于“出货中”的状态没有交付到中芯国际的手中。ASML的做法不仅仅造成了中芯国际在经济上的损失,更为重要的则是耽误了宝贵的5年发展时间,使得中芯国际不得不继续投入在28nm及以上成熟制程这种竞争红海中,放缓了追赶三星和台积电的脚步。
在封锁了最先进的EUV光刻机之后,如今ASML又跟随美国提出的三方协议对于其他非先进技术进行封锁,这也意味着以往安全的28nm也将变得不再安全,特别是考虑到ASML一年供货量高达100台设备,一旦出现如此大的缺口在短时间内实在是难以弥补。
为什么ASML宁可放弃100台设备的订单,冒着违约的风险也要参与芯片三方协议呢?实际上这也是ASML为以往走捷径所付出的代价。昔日曾经的全球光刻机巨头是尼康和佳能,但是在日本半导体产业蓬勃发展并击败美国半导体产业,英特尔、德州仪器等芯片巨头处境艰难之际,通过《美日半导体协定》对日系半导体厂商挥舞起了大棒,一度曾经在前十中占据六席的日系芯片厂商就此衰落。
同时美国也建立了EUV LLC联盟来组织攻关EUV光刻机,最终尼康和佳能两大日系光刻机巨头被排除在联盟之外,而ASML则以50%零件必须从美国企业采购为代价,成为了EUV LLC联盟的一员,也成为EUV光刻机唯一“指定”生产厂商。
自此EUV技术就被ASML牢牢把持在手中,也凭借EUV光刻机的热销,ASML市值一度超过2800亿欧元,成为所有欧洲企业中市值最高的科技企业。但正像欧洲作家茨威格所说的那样:“所有命运馈赠的礼物,都已在暗中标好了价格”。
借助EUV技术完成超越的ASML同时也背负上了沉重的枷锁,高达50%美制零件的要求不仅仅瓜分了ASML大量的利润,也使得ASML陷入不能自由供货的困境。
作为全球增长最快的半导体市场,中国也成为芯片产业新的焦点,这也是在2018年中芯国际向ASML订购EUV光刻机的大背景。要知道这只是一个开始,如果ASML能够自由供货EUV光刻机,那么其发展前景将不可限量。
但是技术被控制加上50%的美制零件使得ASML不得不拒绝向中芯国际等国产半导体厂商出售EUV光刻机,这也使得ASML错失了发展的良机,也为今天EUV光刻机之外的其他设备无法出售的困境埋下了伏笔。
相反尼康和佳能两家日系光刻机厂商虽然被排除在EUV LLV联盟之外,但也都走出了自己的另一条道路。尼康研制出了7nm级别的ArF光刻机,在没有EUV技术的加持之下将精度做到了10nm以下。
佳能则是绕过了EUV技术的限制,推出了NIL(纳米压印技术),试图彻底取代ASML的地位,将来将用于3nm及以下的先进制程。
由于使用了自主研发的技术,也使得尼康和佳能有望绕过芯片三方协议,加大自己出货量,从而对ASML发起挑战。相反ASML则有可能面临每年损失100台芯片设备的窘境,此消彼长之下被反超也并非没有可能。
通过尼康、佳能和ASML的变化其实也能给国内半导体设备厂商以启示和警醒,选择“弯道超车”走捷径的ASML由于技术没有控制在自己手中,因此陷入了巨大的不确定中;相反坚持自主研发的尼康和佳能等企业虽然开始落后,但是终于也走出了自己的道路。
其实不怕慢,怕的是缺乏恒心。如果国内芯片厂商能够耐得住十几甚至几十年的寂寞,那么像尼康和佳能这样后来居上取得突破也并非不可能。等到那时手握芯片技术以及全球最大的消费电子市场,或许将成为国内半导体产业真正腾飞的起点。
雇人炸了荷兰光刻机厂。
日本已经加入美国联盟,限制对中国出货。