第一批2纳米光刻机,美国拿6台,ASML称:中国只配用低端技术

宇宙观察说 2025-04-19 02:38:36

ASML是全球唯一生产极紫外光(EUV)光刻机的公司,其最新高数值孔径(High-NA)EUV设备(如Twinscan EXE:5000)专为2纳米及以下制程设计,每台造价约3.5亿美元。

这些庞然大物(重150吨,体积如两节火车车厢)是半导体行业的“圣杯”,用于生产尖端AI芯片和5G设备。ASML确实与美国客户如英特尔、台积电(TSMC)有密切合作,但首批6台送美国更像是网络传闻,而非官方披露。

至于“中国只配用低端”的说法,源自ASML高管的一些公开评论及其出口政策,2025年1月,ASML首席财务官罗杰·达森(Roger Dassen)表示,中国在光刻技术上落后ASML“数年”,而首席执行官克里斯托夫·富凯(Christophe Fouquet)曾称,由于美国和荷兰的出口管制,中国的半导体产业可能落后10至15年。

ASML受制于美国主导的贸易限制,无法向中国出口最先进的EUV光刻机,仅能提供较老旧的深紫外光(DUV)设备,用于7纳米及以上制程。2025年3月,荷兰政府进一步收紧出口规则,要求ASML对部分检测设备也需申请许可。

ASML为何如此举足轻重?

光刻机是半导体制造的核心,利用13.5纳米波长的EUV光,将复杂电路图案投射到硅片上。高NA EUV设备将光圈从0.33提升至0.55,大幅提高分辨率,满足2纳米制程需求。 这种技术让芯片能集成数百亿个晶体管,推动AI、量子计算和自动驾驶的飞跃。ASML控制全球90%以上的光刻机市场,EUV领域更是独家垄断,客户包括台积电、三星、英特尔等巨头。

2024年12月,日本初创公司Rapidus宣布将在2025年4月启动2纳米试产,使用的正是ASML的Twinscan NXE:3800E光刻机,计划2027年量产。 英特尔和台积电也计划2025年下半年量产2纳米芯片,显示ASML设备的全球分配以美、日、韩、台为主。中国企业如中芯国际(SMIC)受限只能使用DUV设备,通过多重曝光技术勉强生产7纳米芯片,但效率和成本远逊于EUV。

尽管面临封锁,中国并未坐以待毙,2025年3月,华为关联企业深圳SiCarrier被曝开发国产光刻设备,目标替代ASML的EUV机器。 哈尔滨创新科技团队开发出基于放电等离子体(LDP)的EUV光源,波长达13.5纳米,声称设计更简单、成本更低。

华为在东莞的试验设施计划2025年第三季度试产,2026年量产。 清华大学也在推进同步辐射EUV(SSMB-EUV)项目,试图建立大规模光源。

但是ASML的EUV技术依赖数十年的供应链整合和西方供应商的尖端组件,短期内难以复制,即便中国突破光源技术,光刻机的光学系统、掩模和软件仍需攻克。

现在看来美国通过出口管制,试图将中国隔离在低端技术板块,维持其在AI和芯片领域的霸权,2025年4月,美国加强对Nvidia H20芯片和ASML设备的限制,导致ASML订单不及预期,股价一度下跌7.6%。

荷兰虽不情愿,但迫于盟友压力,限制了ASML对华出口,2024年中国市场仍占其36.1%销售额,认为美国逼迫盟友牺牲经济利益,暴露了“美式同盟”的双重标准。

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