在精密仪器制造领域,传统工艺已达到微米级加工的极限。而3D打印技术通过创新的双光子聚合技术,成功实现了0.1μm精度的光学元件手板制造。
某光刻机厂商在研发新一代投影透镜组时,采用该技术一次性打印出包含327层非球面结构的复合透镜手板,面型精度达到λ/10(λ=632.8nm)。
这种纳米级精度的快速成型能力,不仅解决了传统研磨工艺耗时数月的问题,更为光学系统设计提供了前所未有的验证手段。
在精密仪器制造领域,传统工艺已达到微米级加工的极限。而3D打印技术通过创新的双光子聚合技术,成功实现了0.1μm精度的光学元件手板制造。
某光刻机厂商在研发新一代投影透镜组时,采用该技术一次性打印出包含327层非球面结构的复合透镜手板,面型精度达到λ/10(λ=632.8nm)。
这种纳米级精度的快速成型能力,不仅解决了传统研磨工艺耗时数月的问题,更为光学系统设计提供了前所未有的验证手段。