提高薄膜测厚仪的测试精度可以采取以下方法：

1. 定期对薄膜测厚仪进行校准，确保仪器的准确性和稳定性。

2. 在测试过程中保持环境稳定，避免辐射、振动等外部因素对测试结果的影响。

3. 选择合适的测试条件和参数，确保测试数据的可靠性和准确性。

4. 在测试前对被测材料进行清洁和处理，避免污染和表面不平整对测试结果的影响。

5. 在测试过程中注意操作规范，避免人为错误对测试结果造成影响。

6. 对于复杂结构或特殊材料的测量，可以采用多种方法相互验证，提高测试结果的可信度。

7. 及时对测试结果进行分析和比对，发现问题及时调整测试方法和参数，提高测试精度。

8. 不断学习和研究薄膜测厚仪的原理和技术，提高自身的测试技能和水平。