光刻机是生产制造芯片的必要设备,全球范围内,只有四家企业可以生产制造光刻机,日本两家,中国一家,荷兰一家。
数据显示,上海微电子生产制造的光刻机拿下国内八成市场,占领了全球四成的市场,尤其是封装光刻机,上海微电子的市场地位不可小觑。
但ASML是全球光刻机制造技术最先进的厂商,主要生产制造中高端光刻机,其中,DUV光刻机主要生产制造7nm以上芯片,EUV光刻机制造7nm以下芯片。
国内厂商购买ASML的EUV光刻机,但由于瓦森纳协定,导致ASML无法交付。
但美还想进一步限制ASML出货,游说其收紧DUV光刻机的出货范围,但被ASML回绝了。
结果美日荷就签订了三方协议,目的是限制荷兰出货主流的DUV光刻机,荷兰已经官宣,将限制2000i等型号的DUV光刻机出货,9月1日生效。
据悉,2000i等型号的DUV光刻机是EUV光刻机的过渡产品,可以将芯片制程缩小至5nm,EUV光刻机不能出货后,其便成了国内厂商购买的主力型号。
中芯国际一次性购买价值了11亿美元的光刻机,长虹半导体也购入该型号光刻机。
如今,荷兰已决定限制出货,这些型号的光刻机将不能出货,未来将持续出货1980i等更早期型号的光刻机。
但三方协议的签订,导致ASML不乐意,其明确表示中国市场至关重要,将会向中国厂商出货更多光刻机。
因为国内市场是ASML第三大市场,市场占比超过14%,由于美不断修改规则,ASML国内市场的份额降至8%,这已经是说再见了。
荷兰决定进一步限制出货光刻机,这对于ASML而言,又将会是一个巨大的损失。
数据显示,国内是全球最大的芯片消费市场,越来越多的芯片在国内生产制造,对光刻机的需求也是巨大的。
ASML未交付的订单金额超389亿元,其中来自国内的订单超过20%,三方协议签订后,ASML新增订单数量同比下滑46%,而这些未交付的订单也可能面临无法交付。
当然,国内厂商说再见,降低对ASML光刻机的依赖,主要因为两点。
首先,国产光刻机技术不断突破,90nm光刻机已经突破,在多种曝光工艺下,用于生产制造成熟工艺等芯片。
上海微电子28nm精度的光刻机也突破了技术验证,量产只是时间问题。更何况,中科院已经突破更先进的光源技术,并打造出来的原型机。
其次,华为等国内厂商都在想法绕开美技术,自然要绕开ASML的光刻机,其中,28nm工艺的风险持续降低,华为还联合国内厂商完成了14nm以上EDA工具国产化。
中芯国际明确表示,14nm等工艺订单已经恢复到芯片规则修改前的水准,这意味着14nm工艺去美化也差不多了。
另外,华为等国内厂商还积极研发堆叠芯片、量子芯片、光电芯片等产品,这些芯片都降低了对光刻机的依赖,甚至还能完全绕开了ASML的光刻机。
尤其是光电芯片,荷兰都宣布投资11亿欧元进行研发。
所以荷兰ASML才说中企已经说再见了。认同的请点赞,欢迎留言探讨分享。
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